XD激光干涉儀的相關(guān)知識

 　　激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn)，對數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。
　　XD激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上，XD激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù)，記錄準(zhǔn)確的長度位置，束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。
　　為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性，測量儀配有自動氣壓，環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到低。